Aïllants ceràmics fresats de 5 eixos per a equips semiconductors i sales blanques

En el món d'alt risc de la fabricació de semiconductors i els entorns de sala blanca, cada component ha d'oferir un rendiment impecable. APFT, ens especialitzem en artesaniaAïllants ceràmics fresats en 5 eixosque redefineixen la precisió i la fiabilitat. Amb més de 20+Amb anys d'experiència, les nostres solucions estan dissenyades per satisfer les exigents demandes dels equips semiconductors, garantint estabilitat tèrmica, aïllament elèctric i funcionament sense contaminació en entorns ultrasensibles.

Per què escollir els nostres aïllants ceràmics fresats de 5 eixos?

1.Capacitats de fabricació avançades

Les nostres instal·lacions estan equipades ambfresadores CNC de 5 eixos d'última generació, permetent una precisió a nivell de micres en la conformació de ceràmiques avançades com l'alúmina (Al₂O₃), el carbur de silici (SiC) i el nitrur d'alumini (AlN). A diferència dels mètodes convencionals, el mecanitzat de 5 eixos permet geometries complexes, fonamentals per a components com ara els pins d'elevació de les oblies, les peces de la cambra de deposició i els aïllants resistents al plasma.

Característiques principals:

•Precisió:Tolerància de ±0,005 mm per a una integració perfecta en eines de litografia ASML o sistemes de gravat Lam Research.
•Versatilitat del material:Optimitzat per a un 99,8% d'alúmina, SiC d'alta puresa i altres ceràmiques avançades.
•Acabat superficial:Ra <0,2 μm per minimitzar la generació de partícules a les sales blanques de classe ISO 1.

2.Enginyeria de processos propis

Els nostres enginyers han desenvolupatcontrols de processos de circuit tancatque s'adapten a la fragilitat de la ceràmica durant el mecanitzat. Combinant tècniques de fresat en sec amb l'amortiment de vibracions en temps real, aconseguim superfícies sense esquerdes i una vida útil més llarga dels components, fins i tot sota cicles tèrmics extrems (fins a 1.600 °C).

Focus en innovació:

•Protocols per a l'alleujament de l'estrès:Minimitzar les microfractures en aïllants d'AlN per a aplicacions de CVD.
•Tractaments posteriors al mecanitzat:El HIP (premsat isostàtic en calent) millora la densitat i la resistència a la corrosió.

3.Garantia de qualitat rigorosa

Cada aïllant passa perInspecció de 12 etapes, incloent-hi:

•CMM (Màquina de Mesura per Coordenades)validació de dimensions crítiques.
•Prova de fuites d'heliper a la compatibilitat amb el buit.
•EDS (Espectroscòpia de raigs X per dispersió d'energia)per verificar la puresa del material.

El nostreSistema certificat ISO 9001/14001garanteix la traçabilitat des de l'obtenció de matèries primeres (obtingudes de proveïdors de nivell 1 com CoorsTek) fins a l'envasament final.

Aplicacions: On la precisió es troba amb el rendiment

Els nostres aïllants són de confiança en:

•Eines de gravat i deposició:Components recoberts de SiC per a la resistència al plasma en mòduls Applied Materials™.
•Implantadors d'ions:Agulles d'elevació d'alúmina amb recobriments antiestàtics per evitar el lliscament de les oblies.
•Sistemes de metrologia:Aïllants de baixa expansió tèrmica per a etapes de litografia EUV.

Estudi de cas:Un fabricant líder d'equips originals (OEM) de semiconductors va reduir el temps d'inactivitat de les eines en un 40% després de canviar als nostres capçals de dutxa de SiC dissenyats a mida, que van superar les peces de la competència en el processament de làmines de 300 mm.

Més enllà de la fabricació: un enfocament de col·laboració

•Prototipatge ràpid:Envieu els vostres fitxers CAD i rebeu prototips funcionals en 7 dies.
•Embalatge de sala blanca in situ:Muntatge opcional de sala blanca de classe 10 per a la integració directa d'eines.
•Suport tècnic de per vida:Els nostres enginyers ofereixen serveis d'anàlisi de desgast i remecanitzat per allargar el cicle de vida dels components.